用时不到两年半：英特尔 High-NA EUV 晶圆处理量突破百万片，超越其他厂商总和

📋总体概括

英特尔宣布其High-NA EUV光刻设备累计处理的300mm晶圆突破100万片，距首台设备完成组装不到两年半。目前英特尔拥有两台ASML Twinscan EXE:5000原型机及至少一台EXE:5200B量产机型，处理量从2025年2月的约3万片快速攀升至百万片。参考ASML今年4月披露的全球累计超50万片数据，英特尔一家的处理量已超过行业其他所有用户的总和，成为High-NA EUV量产化探索中遥遥领先的玩家。