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芯片材料国产化重大突破!高纯石英首次打入DRAM大厂:用于300mm晶圆

驱动之家·2026/9/11 08:00:00🔗 原文

📋总体概括

江苏太平洋石英的炉管产品通过国内头部DRAM制造商认证,可用于300mm晶圆生产,这是国产高纯石英首次进入晶圆制造核心工艺环节。此前其产品已向泛林、东京电子等设备巨头批量供货,纯度达4N5至5N级。公司自2009年起与南京大学合作6年攻关,将超纯石英砂纯度做到99.999%。至此,从石英砂提纯、炉管加工到晶圆厂供应的链条基本国产化,但更上游的石英坩埚环节仍被海外垄断。

关键信息

  • 太平洋石英炉管通过国内头部DRAM厂认证,首次用于300mm晶圆核心工艺
  • 此前已向泛林集团、东京电子批量供应LPCVD扩散管、晶舟、石英锭等,纯度4N5至5N级
  • 自2009年起与南京大学合作攻关6年,超纯石英砂纯度达99.999%,填补国内空白
  • 更上游的石英坩埚需5N以上纯度,仍被美国Spruce Pine的Sibelco与The Quartz Corp垄断,两家占全球超90%市场
  • 业内认为太平洋石英尚无法生产用于9N至11N纯度硅片生长的高规格坩埚

🔥犀利点评

突破是真的,但别急着开香槟。炉管进晶圆厂只是材料国产化的中游关卡,真正的咽喉在坩埚和超纯石英砂——被Spruce Pine两家公司捏着超90%的份额,这是比光刻机更隐蔽的卡脖子点。石英纯度每提一个9,难度指数级上升,6年磨出5N值得肯定,但9N到11N的坩埚差的可能不止一个6年。国产替代叙事最忌讳的就是用最下游的进展去推演整条链的安全。

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